低温等离子设备物理与技术经历了一个由60年代初的空间等离子体向80年代和90年代以材料为导向的大转变，高速发展的微电子、环境、能源与材料等，为低温等离子体发展带来了新的机遇和挑战。

现在，低温等离子设备物理与应用已经是一个具有影响的重要的与工程，对经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。例如，1995年微电子工业的销售额达1400亿美元，而三分之一微电子器件设备采用等离子体技术。塑料包装材料百分之九十都要经过低温等离子体的表面处理和改性。家预测：二十一世纪低温等离子体与技术将会产生突破。据估计，低温等离子体技术在半导体工业、聚合物薄膜、材料、等离子体电子学、等离子体合成、等离子体冶金、等离子体煤化工、等离子体三废处理等的潜在市场每年将达一千几百亿美元。

等离子体辅助加工被用来制造特种优良性能的新材料、研制新的化学物质和化学过程，加工、改造和精制材料及其表面，具有广泛的工业应用--从薄膜沉积、等离子体聚合、微电路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等离子体喷涂、等离子体冶金、等离子体化工、微波源。